智慧型预测保养机制 (IPM)


系统概述

透过智慧型预测保养机制(Intelligent Predictive Maintenance) 来判断是否需要执行实际保养行为,允许使用者快速地更换不同的预测保养模组,以满足各种不同的客制化需求,并在侦测到设备组件故障或预测到有异常可能发生时,主动通知维修人员进行处理或安排维修行程,减少设备当机时间。

IPM

功能与特性

找出与Target Device(例: 蝴蝶阀或Dry Pump)有交互作用之重要参数,透过演算法即时且精确的产TD健康状态的基准点,实现错误侦测与分类及预测保养目标 。


应用效益

可降低生产制程设备当机时间与次数,增加设备的妥善率与效能
将传统定保,改为智慧型预测保养,在蝴蝶阀案例中,可节省60%保养成本
采用本发明之预测保养系统所降低的生产制程设备当机时间与次数,每年可为半导体与TFT-LCD工厂节省数千万元的制程时间与产能损失

  • 产品应用范围

    • 太阳能PECVD