系统概述

失效侦测与分类系统FDC Lite可即时监控搜集完毕之客户制程资料、并依制程状态及需求分别提供单变量及多变量(将多参数汇整成单一指标、化繁为简,减轻USER全面监控之负担)分析。当有异常发生时,系统立即发出警讯并对产品与机台采取适当应变措施(如:停机,Hold Lot,通知工程师等)、避免异常产品的持续发生。



R2019b 新功能与产品应用

Function Principle Benefits for USER
Excel汇入Rule 支援使用者将需监控之参数、步骤、规格,以填表方式填入Excel表格。系统可直接读取Excel表格即可完成监控设定。 加速规格设定、降低使用者负担。
监控法则模拟测试验证功能优化 透过设定方式建立另一组原始资料与监控规格,让使用者可进行离线模拟监控,方便找寻适合的资料特征与规格。即时模拟建置的Rule的状况,确定法则设定的适用性。 提供离线分析平台。快速找寻监控规格。
新增特征值转换: Similar 加强辨识参数时序波形与样本的相似程度,并提供一回馈值,告知使用者当下参数变异程度。 加强监控机台运作时的讯号/杂讯比及发觉机台运作时的隐性异常因素。

AI智慧功能

Function Principle Benefits for USER
100%监控涵盖率,提供Realtime红绿灯表并即时监控机台重要参数 1. 当厂内有新产品时,系统会依据厂内General Rule 设定,自动进行参数监控
2. 提供机台Alarm Rate与机台特定Recipe Alarm Rate,并可设定Alarm Rate超标警示(超标部份以红色标示,方便管理)
3. 提供每片产品超规参数清单,并可一键连结至Temporal Data,提供前三片资料供工程师进行比对,快速找出异常真因
大幅降低人员负担
FDC Rule管理 机台间的EQP Rule比对功能以及汇出功能
USER可依据制程自行订定监控规则,除业界常用SPC八大管制规则外,更有傅立叶转换等转换规则 1. 管制规则:Max / Min / Average / Std / Range / Slope / Counter / Accumulation / 众数 / 傅立叶转换 / PAR(Peak-to-Average Ratio) / PAPR(Peak-to-Average Power Ratio)
2. 进行参数规格订定与参数资料品质过滤,参数设定规则可By Manual、Sigma、Percentage
将资料中的特定范围内的资料,根据真实物理意义进行处理,降低侦测的False Alarm及加强监控机台运作时的讯号/杂讯比
资料杂讯滤除功能 使用者可设定资料中需要过滤掉的杂讯范围,系统可将设定范围内的资料做特殊处理(如 : 删除、用其他数值代替...等等)
Auto Daily Report 可自动发送每日报告,而当有异常发生时,系统会透过Alarm Manager发出Alarm,寄信通知工程师对产品与机台采取适当动作 避免异常产品的持续发生
Report查询功能 依据时间区间以及机台、Recipe进行分类,提供Piece, Daily, Weekly, Monthly等区间的OOS/OOC异常资料统计图 大幅降低人员负担
机台稳/暂状态的监控 针对制程中类似自动流量控制等由不稳定趋向稳定的信号种类所提供的实用功能,即可依据资料内容自动判定一开始不稳定与之后稳定状态的区分点,之后使用者可分别对不稳定区域与稳定区域取不同的特征转换 减少False Alarm
单/多模组GHI、GHIb Index、Sensor Group监控 1. User可将相同规格的Sensor设定分组,同时User可自行挑选Golden Data当作资料样本,建立多变量分析的模型
2. 系统会自动选择最近几个Piece的参数资料作为多变量分析的样本,进行新进Piece资料与样本的差异程度比较
3. 系统可将比较结果汇整输出成监控指标GHI(Global Health Index),协助User查询机台无上报异常但生产品质不佳等设备隐性问题
方便User进行设定与管理,并可快速查询机台隐性问题
监控法则模拟测试验证功能 即时模拟建置的Rule的状况,确定法则设定的适用性 避免错误Rule造成False Alarm
各厂区整合页面及"警告"分类 全厂监控画面,即时掌握整厂生产线的机台情况。同时将储存资料收集不足之资讯进行储存供日后查询 方便客户进行即时全厂监控,且判断为"警告"分类的异常不会发出通知,降低User非关键的异常查询