系统概述

FDC Lite顾名思义为原先FDC系统之简便版,除了使用者介面完全Web化之外,省去原先基于多变量分析的建模步骤,直接针对时间数据进行监控与异常侦测;若有异常发生时, 系统立即发出警讯并对产品与机台采取适当应变措施(如:停机,Hold Lot,通知工程师等),避免异常产品的持续发生,适用于单一机台复杂程度低的制程。


                                        
系统项目差异 FDC System FDC Lite
系统特性 多变量侦测模组,对于参数各特征值进行综合比对并提供整体健康指标(GHI),具由繁化简、以简驭繁得操控特性。 可达到FDC 100%覆盖率并完整监控时间数据
适用制程特性 适用于复杂度高的机台制程(例如:Recipe步骤与Sensor数多且会互相影响,或需非平均值等其他Indicator转换)。大量生产,少样多量制程。适用于简单制程机台(例如:Recipe步骤与Sensor数较少且只需平均值转换Indicator)。多样少量制程。
适用制程 IC前段制程、面板制程 Packaging、MOCVD制程、网通业、LED后段制程
建模基礎 By Recipe(/By Chamber) By Tool / By Recipe / By Chamber
FDC Model差异 Model Base多变量转换与监控(GHI Model)、单一参数监控 单一参数监控
多变量分析(MVA) 前10大异常参数分析&排序(ISI分析)、单一参数异常通报 单一参数异常通报
线上学习 线上Tuning(自我学习)多变量模型特性、线上Tuning个别参数规格 线上Tuning个别参数规格

功能与特性

若有异常发生时,系统透过Alarm Manager发出Alarm,寄信通知工程师对产品与机台采取适当动作避免异常产品的持续发生
监控Rule建立:进行参数规格订定与参数资料品质过滤,参数设定规则可By Manual、Sigma、Percentage
当厂内有新产品时,系统会依据厂内General Rule 设定,自动进行参数监控
即时监控机台重要参数,监控方式有Temporal, Mean, Max, Min, Range, Std, Slope, Counter, Accumulation等
Report查询功能:依据时间区间以及机台、Recipe进行分类,提供Piece, Daily, Weekly, Monthly等区间的OOS/OOC异常资料统计图
提供机台Alarm Rate与机台特定Recipe Alarm Rate,并可设定Alarm Rate超标警示(超标部份以红色标示,方便管理)
提每片产品超规参数清单,并可一键连结至Temporal Data,提供前三片资料供工程师进行比对,快速找出异常真因