失效侦测与分类系统 (FDC)


系统概述

失效侦测与分类系统(FDC)收集机台Temporal资料,并转为Indicator,进行监控与异常侦测;若有异常发生时,系统立即发出警讯并对产品与机台采取适当应变措施(如: 停机, Hold Lot,通知工程师..等),避免异常产品的持续发生


功能与特性

若有异常发生时,系统立即发出Alarm,通知工程师对产品与机台采取适当动作避免异常产品的持续发生
提供机台即时健康状况指标(Global Heath Index, GHI)
即时监控机台重要参数
系统自动排出前十大偏移参数方便使用者依知识与经验判定真因
一键连结提供前后Run之每秒钟资料(temporal data)供使用者快速比对差异
支援WEB介面监控各机台OCAP情形


R2018b 新功能与产品应用

                            

新增特征值:众数


应用效益 :快速诊断异常并改善,取得快速改善产品良率的优势

快速回报机台状况,避免持续生产不良品
即时侦测产品异常,建立异常通报机制
建构能运用AVM、R2R控制与良率改善(YMS/EDA) 等应用的资料来源,以完成工业4.0内的大数据分析基础。

  • 产品应用范围

    • 面板CVD、ETC
    • 半导体PVD、ETCH
    • LED MOCVD
    • HBT MOCVD
    • Laser MOCVD
    • 太阳能