系统概述

Data Viewer为较基础之工厂、机台或制程资讯图形化显示系统,运用在具备自动化基础之机台及设备。

DataViewer

功能与特性

清楚切割制程Step
提供跨机台、跨Recipe、跨Sensor、跨Step 之制程参数显示及比对
输出分析参数之Temporal Data及Average数据资料(跨机台、跨Recipe、跨Step )


R2017a 新功能与产品应用

新增Web版Data Viewer,方便使用者即时进行异常片之原始资料查询


应用效益 :提供制程数据图形化显示之重要管道,建立后续参数分析之基础

统整机台参数资讯与破除机台、Recipe、Step限制,快速比对制程间之差异