全自动虚拟量测系统(AVM)


系统概述

全自动虚拟量测系统(AVM)可在产品无法进行量测之情况下,利用生产机台资料预测并得到生产之产品品质,将传统离线且具延迟特性之品质抽检改成线上且即时之品质全检。

AVM系统所使用的预测模型可为倒传递类神经网路(BackpropagationNeural Network, BPNN)、或偏最小回归模型(Partial LeastSquare, PLS)等人工智能演算方法,透过双阶段虚拟量测演算法自动更新模型,以便模型移植后能自动调适。除此之外,AVM系统亦提供信心指标与资料品质指标,确保制程资料与实际量测资料的品质,故可确保所输出的虚拟量测值之品质,同时满足线上加工精度预测的即时与准确性。


特性

适合制造现场的平台式AI 解决方案,方便 User可迅速扩散至各厂与各制程机台
将AI技术后台化与自动化,工程师即使不具 AI 知识,依循 SOP 就可于20~30 分钟内将多变数多因子等具因果关系的工作AI化
针对不同制程型态(例如: 单Chamber、多Chamber、Line 式、Roll-to-Roll 式、连续型与前后制程整合式)均具备解决方案
生产线量测抽样比率越来越少,导致建模不易的问题,AVM 已有专利技术解决
符合厂内对 VM系统高精度与可靠度需求
机台清机、 调机与时变等事件,均可以 Auto Refresh等机制自动更新模型
针对产品多样少量与多生产机台/多Chamber 等环境,均可以自动扩散机制解决
对产品的量测平均值与各点位量测值(Uniformity)均可准确预估


R2019b 新功能与产品应用

Function Description Benefits for USER
机差补值 以系统软体的途径解决硬体先天上必然的差异,将机台间的差异视为一预测变因,并将此差异所造成的影响汇入预测系统进行校正。 在预测系统中,对于机差之时变状况,以自动化的方式于预测系统中补救,减少User 为维持机差稳定而频繁校机之负担。

AI智慧功能

Function Description Benefits for USER
设定建模页面 同规格的新产品上线时User不需新建模、仅需利用既有模型便可直接扩散、监控并预测新产品。 新产品上线时可快速建模扩展。
0 Run 建模 新产品上线前,User可先Reference既有模型并设定相关规格,待第一个新产品产出后,不论该笔资料是否有量测资料均可直接自动建模并Fan Out。
ISD 机制 当系统自动判读制程或量测机台状态不稳定时,自动进行加量决策。 每次均为有效量测。
参数权重呈现 于Web介面中呈现预测模型各参数权重以及绘制反应曲面图。 User可更清楚了解预测模型中影响品质之重要参数及其影响程度。

应用效益:改善产品均匀度与提升毛利率

先知科技的AVM为各产业与制程通用,可广泛汲取客户使用回馈的同时,并迅速提升客户使用体验。
达成100% 全检,且针对正常产品可以大幅度降低量测抽样数 (≧ 30% )
降低 Cycle Time (≧ 3% )
减少机台Monitor频率 (≧ 50% )
减少量测机台资本支出 (≧ 30% ) & 空间节省
减少制造部量测人力 (≧ 30% )


市场导入成果

先知科技已跨足面板、半导体、太阳能、化工业及工具机等制造产业 (共售出超过170 套),导入经验丰富。
于面板业中已导入Array/ CF/ Cell 段等的各主要制程与相互整合。
与欧、美、韩及中国等VM 竞争者于不同使用者场域比较后,均获得优异的成果。

  • 产品应用范围

    • 金属细微加工
    • 汽车产业:轮圈制造
    • 面板业:Array、CF、Cell
    • 半导体:晶圆制造、IC制造、测试封装
    • 成型机产业
    • 航太产业