全自动虚拟量测系统(AVM)


系统概述

全自动虚拟量测系统(AVM)可在产品无法进行量测之情况下,利用生产机台资料预测并得到生产之产品品质,将传统离线且具延迟特性之品质抽检改成线上且即时之品质全检。

AVM系统所使用的预测模型可为倒传递类神经网路(BackpropagationNeural Network, BPNN)、或偏最小回归模型(Partial LeastSquare, PLS)等人工智能演算方法,透过双阶段虚拟量测演算法自动更新模型,以便模型移植后能自动调适。除此之外,AVM系统亦提供信心指标与资料品质指标,确保制程资料与实际量测资料的品质,故可确保所输出的虚拟量测值之品质,同时满足线上加工精度预测的即时与准确性。

AVM

功能与特性

机台资料收集与管制 : 即时机台异常侦测与管制
失效原因追溯: 快速找出问题点,减少当机时间
检验方式与时效: 将延迟抽检改为即时全检
与APC控制配合: 可提供更好的精确度


R2017b 新功能与产品应用

Alarm通知系统:可根据不同使用者设定并即时发信通知异常状况,另外提供即时OCAP状况总览以及近一日生产状况
Rebuild Model机制:在原始建模条件下,将近期资料自动建模,根据不同产业与制程可作微幅客制,目前在工具机产业已有实绩


应用效益:改善产品均匀度与提升毛利率

达成能“将离线且具延迟特性之品质抽检改为线上且即时之品质全检”之境界,以便符合工业4.0之CPS内的良率管理大数据分析之标的 
降低取样频率与量测成本、时间与机台,提升Cpk
降低实际抽样率,且做到100% 全检
提高Tool Available Time
更稳定的产品品质

  • 产品应用范围

    • 金属细微加工
    • 轮圈制造
    • 面板CVD、LIT
    • 半导体PVD、CVD、ETC、CMP
    • LED MOCVD